《微機(jī)電系統(tǒng)與設(shè)計(jì)》【正版現(xiàn)貨，品如圖，所有圖片都是實(shí)物拍攝】本書(shū)共8章，第1章初識(shí)微機(jī)電系統(tǒng)，介紹了微機(jī)電系統(tǒng)的基本概念和特點(diǎn)、起源、與傳統(tǒng)機(jī)械和微電子的關(guān)聯(lián)及應(yīng)用和發(fā)展現(xiàn)狀。第2章闡述了用于傳感或執(zhí)行元件工作的基本機(jī)理，并介紹了一些典型的微傳感器和微執(zhí)行器。第3章討論了用于微機(jī)電系統(tǒng)的多種材料。第4章描述了怎樣制造微機(jī)電系統(tǒng)和器件，包括硅基微制造工藝、LIGA工藝和微細(xì)特種加工技術(shù)。
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