《微機電系統(tǒng)與設(shè)計》【正版現(xiàn)貨，品如圖，所有圖片都是實物拍攝】本書共8章，第1章初識微機電系統(tǒng)，介紹了微機電系統(tǒng)的基本概念和特點、起源、與傳統(tǒng)機械和微電子的關(guān)聯(lián)及應(yīng)用和發(fā)展現(xiàn)狀。第2章闡述了用于傳感或執(zhí)行元件工作的基本機理，并介紹了一些典型的微傳感器和微執(zhí)行器。第3章討論了用于微機電系統(tǒng)的多種材料。第4章描述了怎樣制造微機電系統(tǒng)和器件，包括硅基微制造工藝、LIGA工藝和微細(xì)特種加工技術(shù)。
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