廈門大學(xué)物理系半導(dǎo)體物理教研室

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高等學(xué)校教學(xué)參考書 半導(dǎo)體器件工藝原理 內(nèi)容概述：工藝概述 氧化工藝 擴散工藝 光刻工藝 電極制備及引戰(zhàn)封裝 制版工藝 化學(xué)清洗 表面鈍化工藝及半導(dǎo)體器件工藝常用數(shù)據(jù)表 半導(dǎo)體器件工藝常用曲線圖

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